原创力文档- 21
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- 2023-07-07 发布于四川
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一种二维材料转移至孔洞衬底上的方法，涉及二维材料转移。PDMS薄膜贴在载玻片上；二维材料块体剥离至PDMS薄膜上；在显微镜下将多余部分的PDMS薄膜剪切；得到带有材料的载玻片固定于二维材料转移台的基片卡槽内；将带有孔洞的硅衬底吸附于转移台的样品座上；将材料对准Si衬底上的孔洞，升温使PDMS薄膜与Si衬底部分接触；继续升温使得PDMS薄膜自发地与Si衬底贴合紧密；降温使PDMS薄膜与Si衬底分离。通过改变温度调整PDMS薄膜粘性，实现二维材料转移至带有孔洞的硅衬底上。为纯干法转移，转移后的样品表
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113851371 A
(43)申请公布日 2021.12.28
(21)申请号 202111307372.5
(22)申请日 2021.11.05
(71)申请人 厦门大学
地址 36
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