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薄膜体声波谐振器结构以及薄膜体声波滤波器.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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薄膜体声波谐振器结构以及薄膜体声波滤波器.pdf

    本发明提出了薄膜体声波谐振器结构以及薄膜体声波滤波器，所述薄膜体声波谐振器结构。薄膜体声波谐振器包括带有梯形凹槽的基体；所述基体上方布设有缓冲层；所述凹槽和缓冲层之间形成第一空腔；所述缓冲层上方设置有几字形压电层；所述压电层的几字形凸起下表面设有第一电极；所述第一电极与所述缓冲层之间形成第二空腔；所述几字形压电层的上表面设有第二电极；所述保护层覆盖与所述第二电极和外露的沉积压电层表面。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113852359 B (45)授权公告日 2022.02.15 (21)申请号 202111416434.6 (56)对比文件

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