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- 2023-07-07 发布于四川
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本发明公开了一种有机物清洁及残留检测装置及方法，包括密闭腔体以及控制模块，在密闭腔体内放置坩埚或掩模板，在密闭腔体内设置紫外光灯以及漫反射板，且密闭腔体上连接有用于通入气体的进气端且连接有用于排出气体的出气端，在进气端以及出气端均设置检测进气的水分含量的水百分比传感器以及管路控制阀，向着密闭腔体内通入干燥空气或氮气，配合紫外光灯的照射以及漫反射板辅助紫外光覆盖，利用紫外光灯光照射在工件表面，有机物受紫外光照射C‑H键破坏后裂解成H2O、CO2、NO等气体产物，紫外清洁的原理能够有效的实现有机物的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113843222 A
(43)申请公布日 2021.12.28
(21)申请号 202111300335.1
(22)申请日 2021.11.04
(71)申请人 福建
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