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表面检查方法、装置和计算机可读存储介质.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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表面检查方法、装置和计算机可读存储介质.pdf

    本发明实施例提供表面检查方法、表面检查装置和计算机可读存储介质。根据本发明实施例的表面检查方法包括：获取至少第一边缘检测数据和第二边缘检测数据，所述第一边缘检测数据是对所述表面的边缘的第一检测方向检测得到的第一表面轮廓，所述第二边缘检测数据是对所述表面的边缘的第二检测方向检测得到的第二表面轮廓，所述第一检测方向与所述第二检测方向之间非平行；根据至少所述第一边缘检测数据和所述第二边缘检测数据确定在所述表面上是否存在缺陷候选区域；当确定在所述表面上存在所述缺陷候选区域时，获取基于所述缺陷候选区域的表

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113870291 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202010607997.2 (22)申请日 2020.06.29 (71)申请人 株式会社理光 地址

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