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- 2023-07-07 发布于四川
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等离子处理装置具备：在内部具备对基板进行等离子处理的等离子处理室并能将该等离子处理室的内部排气成真空的真空室；和对该真空室经由圆形波导管提供微波电力的微波电力提供部，在这样的等离子处理装置中，真空室具备：与圆形波导管连接并接受从圆形波导管传播的微波电力的平行平板线路部；配置于平行平板线路部的外周并接受从平行平板线路部传播的微波电力的环形谐振器部；接受从形成于该环形谐振器部的狭缝天线辐射的微波电力的空洞部；和将该空洞部和等离子处理室分离的微波导入窗，平行平板线路部在与环形谐振器部的边界部分具有调整
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113874978 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202080006797.X (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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