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本发明涉及光伏镀膜设备技术领域,公开一种真空泵前端过滤装置。该真空泵前端过滤装置包括过滤箱,以及设置于过滤箱内的加热组件、冷却组件和过滤组件。过滤箱上设置有互相连通的进水口、进气口和出气口,进水口设置于过滤箱的底部,用于连通水源,进气口设置于过滤箱的侧壁,出气口设置于过滤箱的上部,用于连通真空泵;在进气口和出气口之间由下到上依次设置有加热组件、冷却组件和过滤组件;加热组件能够加热水使其雾化;冷却组件内部设置有冷却液;尾气能够依次由加热组件进行水雾热反应,由冷却组件冷凝去杂质并由过滤组件过滤和完成
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113830959 A
(43)申请公布日 2021.12.24
(21)申请号 202111266035.6
(22)申请日 2021.10.28
(71)申请人 横店集团东磁股份有限公司
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