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安装装置及安装方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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安装装置及安装方法.pdf

    本发明提供一种安装装置及安装方法。本发明包括：基板载台，载置基板；载台移动机构，使基板载台移动；第一检测部，在将电子零件安装于基板的安装位置，对安装前的电子零件的位置及基板的安装预定区域的位置进行检测；接合头，在安装位置将电子零件的位置与基板的安装预定区域的位置对位，并安装于基板；第二检测部，在与安装位置隔离的检查位置，对安装之后的电子零件进行检测；以及控制装置，控制装置包括偏移量检测部，所述偏移量检测部基于由第一检测部检测出的基板的安装预定区域的位置，对安装有电子零件的基板的安装预定区域的位置

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113871319 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202110709043.7 H01L 21/68 (2006.01) (22)申请日 2

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