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- 2023-07-07 发布于四川
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本发明提出了一种声表面滤波器封装方法及封装结构。所述声表面滤波器封装结构包括第一玻璃盖板、第二玻璃盖板、IDT功能区域封装部件、晶圆主体和晶圆主体载体；所述晶圆主体上表面布设绝缘层，在所述绝缘层上正对IDT功能区域位置设置开口，使IDT功能区域外露；所述IDT功能区域上设置所述IDT功能区域，封装部件；在所述晶圆主体四周扣设上第一玻璃盖板；所述第一玻璃盖板上设有与所述晶圆主体位置对应的主体安装位；在所述第一玻璃盖板上布设黏胶层，并在所述IDT功能区域封装部件上方扣设第二玻璃盖板，并通过黏胶层使第
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113852360 B
(45)授权公告日 2022.02.15
(21)申请号 202111438090.9
(22)申请日 2021.11.30
(65)同一申请的
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