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- 2023-07-07 发布于四川
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本发明公开了一种非均质跃变表面形貌自动测量装置及方法，涉及形貌测量技术领域，测量装置通过建立光谱轴向色差系统，使得满足共焦条件的单色光的波长与轴向距离形成映射，对光谱仪测得的单色光波长进行分析即可实现表面距离测量，待测样品固定在与轴向垂直的二维运动导轨平台上，通过控制二维运动导轨运动扫描测量待测样品表面，进而实现表面形貌测量；测量方法通过对导轨扫描轨迹规划，在距离数据采集前先对光强信息进行采集，并据此对光谱仪的参数进行动态调整；本发明有效解决了非均质跃变表面在形貌测量过程中，因材质吸光特性差异导
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113847888 B
(45)授权公告日 2022.03.04
(21)申请号 202111438174.2 (56)对比文件
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