原创力文档- 12
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- 2023-07-07 发布于四川
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提供一种金属化合物的除去方法，其能够抑制二氧化硅、氮化硅、多晶硅、金属单质等的除去，并且选择性地除去金属的氧化物、金属的氮化物和金属的氧氮化物。通过使选自金属的氧化物、金属的氮化物和金属的氧氮化物中的至少一种金属化合物与处理液接触，将该金属化合物从被处理物中除去。上述金属是选自钨、钴、镍、钽、钛、铁、铜和钼中的至少一种。处理液是含有选自羧酸及其盐中的至少一种除去用化合物的水溶液，处理液中的除去用化合物的合计浓度为2质量％以上。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113853669 A
(43)申请公布日 2021.12.28
(21)申请号 202180003312.6 (74)专利代理机构 北京市中咨律师事务所
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