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用于改良基板处理的基板底座.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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用于改良基板处理的基板底座.pdf

    一种基板底座，包括：导热基板支撑件，导热基板支撑件包括网格；导热杆，导热杆中包括多个导通棒，各个导通棒具有第一端及第二端；以及传感器。各个导通棒的第一端电气耦合至网格，且传感器布置于各个导通棒的第一端及第二端之间，且配置成检测流过各个导通棒的电流。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874548 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080038428.9 V ·S ·C ·帕里米　 (22)申请日

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