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- 2023-07-07 发布于四川
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本发明涉及一种体声波谐振器，包括基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，其中：所述声学镜、底电极、压电层和顶电极在谐振器的厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；所述顶电极上侧的围绕所述有效区域的边缘还设置有导电层，所述导电层与所述顶电极电连接；所述导电层的内端和/或外端的至少一部分底面与所述顶电极的上表面之间存在空隙而形成悬空结构。本发明还涉及一种体声波谐振器的制造方法、一种滤波器以及一种电子设备。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113872553 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202010621180.0
(22)申请日 2020.06.30
(71)申请人 诺思（天津）微系统有限责任公司
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