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附着物除去方法及成膜方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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附着物除去方法及成膜方法.pdf

    提供附着物除去方法及成膜方法，能够将附着于腔室的内表面或连接于腔室的配管的内表面的含有硒的附着物以不将腔室拆开的方式进行除去。通过使附着于腔室(10)的内表面及连接于腔室(10)的排气用配管(15)的内表面中的至少一方的含有硒的附着物与含有含氢化合物气体的清洁气体进行反应来除去该附着物。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874547 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080039011.4 (74)专利代理机构 北京市中咨律师事务所

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