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使用蒸汽用于预热或清洁CMP部件.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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使用蒸汽用于预热或清洁CMP部件.pdf

    一种用于化学机械抛光系统的温度控制方法，包括以下步骤：当抛光系统中的部件与抛光系统中的抛光垫分隔开时，将包含蒸汽的气体从孔口引导到部件上以清洁部件或使部件的温度上升到升高的温度。将部件移动到与抛光垫接触，这可以在部件返回到环境温度之前发生。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874166 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080038768.1 A ·J ·菲舍　P ·D ·巴特菲尔德　 (

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