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基板调温装置和基板调温方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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基板调温装置和基板调温方法.pdf

    一种基板调温装置，其调节基板的温度，其中，该基板调温装置包括：载置台，其载置基板；调温部，其调节该载置台的温度，以调节载置于所述载置台的基板的温度；抽吸力产生部，其产生对基板进行抽吸的抽吸力，将该基板吸附于调节了温度的所述载置台，该抽吸力产生部具有将基板的周围的空气吸入的吸入配管；以及抽吸力调整部，其具有将调整所述抽吸力的抽吸力调整气体向所述抽吸力产生部供给的调整气体配管。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874994 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080038539.X (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事

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