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用于改善滚柱轴承寿命的平台抗微振机构.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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用于改善滚柱轴承寿命的平台抗微振机构.pdf

    公开了一种平台装置，包括：短冲程平台；长冲程平台；第一传感器，所述第一传感器被配置成用于测量所述短冲程平台相对于基准的位置，所述基准被布置成不在所述短冲程平台上并且不在所述长冲程平台上；一个或多个滚柱轴承，其被配置成支撑所述长冲程平台；以及控制器，其用于至少部分地基于来自所述第一传感器的测量来控制所述长冲程平台的移动和所述短冲程平台的移动，以便跟随所述基准的移动，其中所述控制器可操作使得：在所述平台装置的至少部分操作中，所述长冲程平台的控制与所述基准的所述移动解耦，以减少所述一个或多个滚柱轴承的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874977 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080038353.4 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所

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