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用于向衬底提供辐射的设备和方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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用于向衬底提供辐射的设备和方法.pdf

    描述了一种可操作以向衬底的多个目标区域提供名义剂量辐射的光刻设备和关联方法。名义剂量辐射经过多次曝光被提供给衬底的多个目标区域中的每个目标区域。将名义剂量辐射提供给每个目标区域涉及使目标区域的第一区域曝光于辐射，而目标区域的第二部分未被曝光于辐射(第一部分和第二部分的形状和配置取决于被成像的图案)。每个目标区域的曝光次数是根据描述衬底的该目标区域响应于接收到热负载的机械行为的数据来确定的。热负载对应于在目标区域的第一部分被提供名义剂量辐射时接收的热负载。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874788 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080038359.1 M ·格拉姆　H ·J ·M ·梅杰　

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