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用于极紫外光源中的流体控制的流体控制设备和方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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用于极紫外光源中的流体控制的流体控制设备和方法.pdf

    一种流体控制设备(100)，包括：结构(120)，限定阀腔、第一流体端口(135)、第二流体端口(140)和第三流体端口(145)，第三流体端口(145)被配置为流体地联接到主体的气密内部(105)；以及柱塞阀(130)，位于阀腔内并且被配置为在第一模式与第二模式之间移动，同时维持主体的气密内部。在第一模式下，柱塞阀打开，使得第一流体流动路径在气密内部与第一流体端口之间打开，并且流体在第一流体端口与气密内部之间自由通过。在第二模式下，柱塞阀关闭，使得第一流体端口与气密内部被柱塞阀阻挡开，并且第二

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874645 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080038363.8 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所

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