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- 2023-07-07 发布于四川
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在平板状的支撑构件(3)的第一面形成金属膜(3),金属膜(3)的支撑构件(2)的表面形成树脂固化膜。对树脂固化膜照射微细加工用的激光,通过形成所期望的微细图案(13),形成具有微细图案的树脂薄膜(1)。其后,向作为支撑构件(2)的第一面的相反面的第二面照射与微细加工用的激光不同波长的紫外光,将树脂薄膜(1)从支撑构件(2)剥离。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113874539 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 201980096711.4 (51)Int.Cl.
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