原创力文档- 3
- 0
- 约1.72万字
- 约 13页
- 2023-07-07 发布于四川
- 举报
本发明涉及质谱仪器技术领域，提供了一种质谱仪，包括：第一真空室，具有与外部大气压环境连通的大气压接口，并与第一真空泵连接，所述第一真空室的工作压力P1的范围为P1＞30mbar；第二真空室，与所述第一真空室由真空接口相连接以接收来自所述第一真空室的待分析物，所述第二真空室与第二真空泵连接，所述第二真空室的工作压力P2的范围为0.5mbar≤P2≤30mbar；以及第三真空室，与所述第二真空室由真空接口相连接以接收来自所述第二真空室的待分析物，所述第三真空室与第三真空泵连接，所述第一真空泵或者所述
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113871284 A
(43)申请公布日
2021.12.31
(21)申请号 20201
文档评论（0）