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本发明提供一种用于真空镀膜的雾化装置,包括壳体和设于壳体内的雾化器本体,雾化器本体的两端分别设有通液接口和雾化喷头,通液接口用于通入供雾化器本体进行雾化的液态有机镀膜材料,雾化器本体上设有用于增压的增压接头。本发明先对液态有机镀膜材料的雾化,而后可以再对雾化后液态有机镀膜材料进行汽化,汽化后的有机镀膜材料可均匀地附着并涂覆于基材的表面上,成膜的过程在真空环境下完成,其适用范围广,可以获得较薄的镀膜层,也可以满足厚膜的需要,其均匀性容易控制,效率高,并且可以获得均匀性高和更高膜层性能的薄膜。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113828466 A
(43)申请公布日 2021.12.24
(21)申请号 202111203394.7
(22)申请日 2021.10.15
(71)申请人 洛阳生波尔真空装备有限公司
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