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用于衬底处理系统的基于模型的调度.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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用于衬底处理系统的基于模型的调度.pdf

    对于蚀刻工具，训练神经网络模型，以预测最佳调度参数值。该模型使用从预防性维护操作、配方时间以及无晶片自动清洁时间所收集的数据作为输入来进行训练。该模型被用于获取调度参数值与各种晶片处理方案之间的基本关系，以作出预测。另外，在用于多个并行材料沉积处理的工具中，基于嵌套神经网络的模型使用机器学习来进行训练。该模型最初是使用模拟数据进行设计及离线训练，接着使用实际工具数据进行在线训练，以预测晶片路线安排途径及调度。该模型改善调度器调整的准确性，并且实现最高工具/机群利用率、最短等待时间以及最快产量。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874993 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080039804.6 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263

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