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长寿命激光器腔室电极.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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长寿命激光器腔室电极.pdf

    公开了一种用于在激光器腔室中的至少一个电极上创建保护层的装置和方法，其中层形成气体被添加到激光器腔室中，然后，电极用于在激光器腔室中生成等离子体，导致保护层的形成。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113875101 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080034713.3 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所

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