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- 2023-07-07 发布于四川
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描述了用于实现串联连接的单芯片垂直腔面发射激光器(VCSEL)阵列的方法、设备和系统。在一个方面，单个芯片包括一个或多个位于导电层上的非导电区，以产生多个电分离的导电区。每个电分离区可以具有多个VCSEL元件，包括串联连接的阳极区和阴极区。芯片连接到具有金属化图案的基板，金属化图案串联地连接导电层上的每个电分离区。在一个方面，金属化图案将第一电分离区的阳极区连接到第二电分离区的阴极区。金属化图案还可以包括切口，该切口保持每个导电层区上的阳极和阴极区之间的电分离，并且与蚀刻区对准。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113872046 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202110733243.6
(22)申请日 2021.06.29
(30)优先权数据
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