1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

隔离电容及隔离电容的制备方法.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约1.12万字
  • 约 9页
  • 2023-07-07 发布于四川
  • 举报

隔离电容及隔离电容的制备方法.pdf

    本发明涉及半导体器件领域，提供一种隔离电容及隔离电容的制备方法。所述隔离电容包括衬底、下极板、上极板以及位于所述下极板与所述上极板之间的电介质层，还包括设置于所述下极板与所述衬底之间的隔离层；所述隔离层由介电常数在2~3之间的电介质材料形成，所述隔离层用于降低所述下极板与所述衬底之间的寄生电容。本发明在下极板与衬底之间增加超低介电常数的隔离层，大幅度降低下极板与衬底之间的寄生电容。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113851466 B (45)授权公告日 2022.03.22 (21)申请号 202111436654.5 (74)专利代理机构 北京润平知识产权代理有限

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >