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一种分子泵主轴攒量测量装置及测量方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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一种分子泵主轴攒量测量装置及测量方法.pdf

    本发明提供一种分子泵主轴攒量测量装置及测量方法，涉及检测设备技术领域，该测量装置包括：施压模块、支撑架以及螺旋测微器，支撑架具有相互垂直的第一支撑部和第二支撑部，第一支撑部具有保持水平的第一状态和保持竖直的第二状态；处于第一状态的第一支撑部承载螺旋测微器，螺旋测微器用于测量所述检测杆的竖直位移；处于第二状态的第一支撑部放置在分子泵的顶面第一支撑部用于辅助测量分子泵主轴的伸出长度。本发明对竖直设置的分子泵主轴的伸出部进行测量，得出分子泵主轴因重力而产生的攒动量；借助螺旋测微器以及施压组件，测得分子

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113833685 B (45)授权公告日 2022.03.22 (21)申请号 202111417127.X (56)对比文件 (22)申请日 2021.11.26

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