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- 2023-07-07 发布于四川
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描述了一种用于在基板处理系统中的载体的热处理的设备。所述设备包括加热布置，所述加热布置被配置为向所述载体提供热能，所述加热布置包括一个或多个线圈。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113874544 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 201980096786.2 (51)Int.Cl.
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