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本发明公开了石墨烯氧化钒红外探测器、制备方法及其应用，其中探测器包括响应部，包括基体，形成于基体上的电极，电极在基体表面形成有空缺部分，形成于电极上的石墨烯层，石墨烯层、电极以及基体限定所述空缺部分为腔结构，形成于石墨烯层上的Parylene薄膜层，形成于Parylene薄膜层上的氧化钒层，氧化钒层至少部分与电极电连接。本发明的探测器，制备工艺较为简单，而且石墨烯悬臂梁结构能够充分发挥石墨烯优秀的力学性能，也有助于充分发挥氧化钒红外探测器的性能，提高探测灵敏度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113851552 A
(43)申请公布日 2021.12.28
(21)申请号 202111138629.9
(22)申请日 2021.09.27
(71)申请人 苏州
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