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氟气的制造方法及氟气制造装置.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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氟气的制造方法及氟气制造装置.pdf

    提供能够抑制由雾导致的配管、阀的堵塞的氟气的制造方法。通过包括电解工序、水分浓度测定工序以及送气工序的方法制造氟气，电解工序在电解槽内进行电解液的电解，水分浓度测定工序对电解时在阴极室所产生的流体中的水分浓度进行测定，送气工序从电解槽的内部经由流路向外部输送电解液的电解时在电解槽的内部产生的流体。在送气工序中，根据在水分浓度测定工序中测定的水分浓度，对流通流体的流路进行切换，在水分浓度测定工序中测定的水分浓度为预先设定的基准值以下的情况下，向第1流路输送流体，在比预先设定的基准值大的情况下，向第

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874555 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080039009.7 (74)专利代理机构 北京市中咨律师事务所

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