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提供了一种N型TOPCon太阳能电池及其制作方法，所述制作方法包括：提供N型硅片衬底，并在其背表面上依次形成层叠的第一隧穿氧化层、第一多晶硅层、和复合膜层；在衬底的前表面上依次形成层叠的第二隧穿氧化层、第二多晶硅层、和第一掺氢氮化硅膜；在衬底的前表面的预定位置上进行开槽，以形成凹槽区；在凹槽区内进行磷扩散处理，形成N+掺杂层和PSG层；在PSG层上形成第二掺氢氮化硅膜；在衬底的前表面和背表面分别形成前表面电极和背表面电极。本发明通过将隧穿钝化接触结构同时应用于电池的前表面和背表面，并将电池的PN
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113851555 A
(43)申请公布日 2021.12.28
(21)申请号 202110961037.0 (74)专利代理机构 深圳市铭粤知识产权代理有
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