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本公开涉及基于布拉格光栅的反射器及其制造方法、光电装置。反射器包括:波导,包括多个第一部分和多个第二部分,每个第一部分沿第一方向延伸并且该多个第一部分在不同于所述第一方向的第二方向上间隔布置,每个第二部分被配置为将相邻两个第一部分光学耦接,使得该多个第一部分和该多个第二部分交替地光学串联耦接;包围波导的包覆层;和以第一方向为周期方向的线阵光栅,设置在包覆层中并在与第一方向和第二方向垂直的第三方向上与波导分离开第一间距,其中当从第三方向看时线阵光栅与波导重叠,其中波导的材料的折射率大于包覆层的材料
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113866879 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202111208856.4
(22)申请日 2021.10.18
(71)申请人 联合微电子中心有限责任公司
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