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2023-07-08 发布于四川
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一种用于晶圆清洗的烘干装置.pdf

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本发明公开了一种用于晶圆清洗的烘干装置，包括用于支撑和安装的密封机构和用于对圆晶进行传输的进出料机构以及用于对圆晶进行擦拭的擦拭机构，密封机构内部两侧设置有两组进出料机构，擦拭机构设置在进出料机构内部，擦拭机构出料端设置有吹干机构，吹干机构出料端设置有烘干机构，烘干机构、擦拭机构、吹干机构后端均连接传动机构，吹干机构内部设置有复位机构。本发明利用双联动，保证了动能传输以及动能利用率，同时保证工序之间的配合，避免相互发生干涉，提高烘干效率，利用脉冲喷吹管配合滑动挡板，对圆晶进行间歇脉动方式的高压吹

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113865316 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202111038053.9 F26B 25/16 (2006.01) (22)申请日 2

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