一种金刚石表面金属阵列外延生长获得局域增强色心发光的方法.pdfVIP

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2023-07-08 发布于四川
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一种金刚石表面金属阵列外延生长获得局域增强色心发光的方法.pdf

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一种金刚石表面金属阵列外延生长获得局域增强色心发光的方法，本发明是为了解决现有CVD制备金刚石内杂质原子浓度过高，色心转换效率过低的问题。金刚石表面金属阵列外延生长方法：一、清洗；二、采用光刻工艺在金刚石基底上沉积复合金属膜，复合金属膜呈间隔的条纹状；三、将带有复合金属膜的金刚石放入CVD生长舱体内，启动微波发生器，升高气压和功率，使金刚石表面温度达到700～1000℃，通入甲烷和掺杂元素气体，进行外延生长。本发明通过在金刚石表面沉积金属图案，通过CVD原位沉积横向外延生长，工艺流程简单，制备得

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115044973 A (43)申请公布日 2022.09.13 (21)申请号 202210673216.9 (22)申请日 2022.06.14 (71)申请人哈尔滨工业大学地址 150001