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本发明涉及一种湿电子化工技术，具体是一种缓释溶氧量配制显影液的共聚器及其使用方法,该共聚器包括了用于供各试剂共聚配制并定容形成显影液的罐体结构、辅助混合机构、以及缓释溶氧机构；辅助混合机构用于在罐体结构内通过机械搅拌的方式促进各试剂依次与显影剂充分混合反应；缓释溶氧机构用于从罐体结构的底部通入氮气。通过设置的辅助混合机构可加快各试剂与显影剂的溶解速率，缓释溶氧机构从罐体结构的底部通入保护气体氮气，氮气在辅助混合机构的作用下均匀地充斥于溶液中，溶液中的多余而无法溶解的氮气会带走部分原先溶解于溶液中
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116393070 A
(43)申请公布日 2023.07.07
(21)申请号 202310382427.1
(22)申请日 2023.04.11
(71)申请人 昆山欣谷微电子材料有限公司
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