微流控芯片及其制造方法.pdfVIP

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2023-07-08 发布于四川
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微流控芯片及其制造方法.pdf

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本发明涉及一种微流控芯片，包括主体结构、基底以及微泵；所述主体结构中设有微通道结构以及安装槽，所述微通道结构具有第一进液口和第一出液口，所述主体结构的材质为金属；所述基底通过注塑工艺形成在所述安装槽内，所述基底的材质为塑料；所述微泵设在所述基底之上，所述微泵具有第二进液口和第二出液口，所述第二进液口与所述第一出液口连通，所述第二出液口与所述第一进液口连通，所述微泵与所述基底连接处的材质为塑料。本发明的微流控芯片的制造工艺简单、连接稳固，有利于将微流控技术在散热领域推广应用。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113858540 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202111171367.6 (22)申请日 2021.10.08 (71)申请人佛山华智新材料有限公司