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本申请公开了一种晶圆测试探针卡及其晶圆测试系统，晶圆测试探针卡包括：基板，基板的第二表面面对晶片的待测表面；探针，一端固定在基板上，另一端为自由端，自由端用于接触晶片的待测表面；至少一个报警装置，安装在基板上，在检测到第一距离低于设定阈值的情况下输出报警信号；报警装置量测第一距离，设定阈值大于或者等于基板到待测表面的最小安全距离。报警信号提醒晶圆测试探针卡与晶片的待测表面之间的距离已低于最小安全距离，进而避免因过度扎针导致探针和晶片的待测表面受到损伤，保证了晶圆测试结果的准确性，同时保护探针和晶
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113866598 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202111105675.9
(22)申请日 2021.09.22
(71)申请人 长江存储科技有限责任公司
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