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- 2023-07-08 发布于四川
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本申请公开了一种元件基板、转移部件和转移方法，元件基板包括多个第一拾取区，第一拾取区上设置有多个阵列排布的待转移元件。第一拾取区呈矩形并具有第一组对角位置和第二组对角位置，第一组对角位置具有相同的第一拾取标记，和/或，第二组对角位置具有相同的第二拾取标记。在进行待转移元件的拾取过程中，通过第一拾取标记或者第二拾取标记对元件基板进行对位拾取。第一拾取区设置第一拾取标记和第二拾取标记，可以采降低拾取标记的缺失风险。至少两个第一拾取区毗邻设置，即至少两个第一拾取区相邻且共边设置，减少相邻第一拾取区之间
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116403996 A
(43)申请公布日 2023.07.07
(21)申请号 202310477748.X H01L 21/68 (2006.01)
(22)申请日 2023.04.
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