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本发明公开了一种蝶形天线集成的拓扑半金属太赫兹探测器及制备方法。器件制备步骤主要通过机械剥离、紫外光刻、热蒸发镀膜、定点转移和超声引线等工艺形成蝶形天线集成的拓扑半金属太赫兹探测器。器件结构自下而上依次为：第一层是本征硅衬底、第二层是氧化物层、第三层是拓扑半金属硒碲镍和蝶形天线电极、第四层是拓扑半金属石墨烯。通过集成蝶形天线并构筑拓扑半金属垂直异质结方式构成的太赫兹探测器，可以调节拓扑半金属材料量子态的拓扑特征，并借助蝶形天线达到聚焦太赫兹光场和提高材料光吸收的目的，最终实现室温下太赫兹探测和成
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116404063 A
(43)申请公布日 2023.07.07
(21)申请号 202310325811.8 H01L 31/0236 (2006.01)
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