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2023-07-08 发布于四川
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一种提高AlN声表面波器件机电耦合系数的结构及方法.pdf

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一种提高AlN声表面波器件机电耦合系数的结构及方法，该结构由两层不同尺寸的压电材料进行堆叠，形成Al/ZnO/AlN/金刚石四层结构。将器件结构单元的输入、输出叉指电极分别施加正电压、接地。当输入端输入电信号时，电信号通过压电基片的逆压电效应转换为机械能，并以声表面波的形式在压电基片表面传播；当声表面波信号到达输出端时，再通过压电基片的压电效应转换为电信号进行输出。此结构会在AlN和ZnO表面形成较强烈电荷积累。通过调节ZnO的厚度可以增强器件的机电耦合系数，再次调节AlN的厚度仍可以继续增强器

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113872560 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202111120348.0 (22)申请日 2021.09.24 (71)申请人天津理工大学地址

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