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2023-07-08 发布于四川
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一种真空玻璃真空度在线检测系统及方法.pdf

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本发明涉及真空玻璃真空度检测技术领域，具体涉及一种真空玻璃真空度在线检测系统及方法。在线检测的方法包括使用激光光束从第一玻璃板的一侧照射真空玻璃；所述激光光束在第一玻璃板的下表面形成第一光斑，并同时发生折射形成真空间隙折射光线；所述真空间隙折射光在第二玻璃板上表面发生反射，形成真空间隙反射光线，所述真空间隙反射光线在第一玻璃板下表面形成第二光斑；测量第一光斑和第二光斑之间的距离，获得相位差，并将相位差算换成第一玻璃板和第二玻璃板之间的距离。本方案可以解决现有的真空玻璃的真空度检测方法检测精度不佳

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113865783 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202111138036.2 (22)申请日 2021.09.27 (71)申请人重庆英诺维节能环保科技有限公司

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