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一种等离子体设备。所述等离子体设备包括基座、金属环以及可移动介质环。所述基座经配置以承载待加工工件。所述金属环设置于所述基座之上。所述金属环经配置以环绕所述待加工工件。可移动介质环设置于所述基座之上。所述可移动介质环的正投影覆盖所述金属环。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116403880 A
(43)申请公布日 2023.07.07
(21)申请号 202111616380.8
(22)申请日 2021.12.27
(71)申请人 拓荆科技股份有限公司
地址 11
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