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本发明公开了一种高纯六氯乙硅烷用生产设备及其耐蚀纯净处理方法，该高纯六氯乙硅烷用生产设备所有管道均采用奥氏体不锈钢材料制造、设置有抽真空的装置和充入保护气体的装置、为两级蒸馏冷凝结构；其中不锈钢管道内表面固定有防护层，该防护层由外及里分布有厚度75μm‑80μm的复合层、5μm‑8μm的锌镍混合层、12μm‑20μm的铝镀层和不锈钢基体层；其中复合层由氧化铝、氧化铅、碳化钨、氧化铈密排混合而成。该高纯六氯乙硅烷用生产设备内表面防护性好、表面完整性高、呈较高程度惰性、结合力强、使用寿命长、致密度好
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113862744 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202111310192.2 C25D 5/52 (2006.01)
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