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一种超薄晶圆光学窄带滤光片及其制备方法.pdfVIP

一种超薄晶圆光学窄带滤光片及其制备方法.pdf

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    本发明公开了一种超薄晶圆光学窄带滤光片及其制备方法，该窄带滤光片包括主膜层、基板、应力平衡层和副膜层，该窄带滤光片在基板和副膜层之间设置一层应力平衡层，该结构解决了正常工艺制备窄带膜层的厚度过厚问题，并避免基板副膜层面镀膜厚度过厚产生的翘曲问题，在保证窄带滤光片的光学性能的基础上，变得更加薄，解决了制备窄带滤光片一次成型避免多次成膜产生的膜层结合力不好或者膜层和基板之间有大颗粒浮尘。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113866860 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202111109572.X (22)申请日 2021.09.22 (71)申请人 华天慧创科技(西安)有限公司

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