LiNbO3晶体加工工艺研究.docx

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2023-07-14 发布于湖北
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LiNbO3晶体加工工艺研究 Research on LiNbO3 Crystal Processing Process 摘要铌酸锂物理性质多样，其含有声光效应、非线性效应、光折变软等功能性效应，所以一直都是人们所经常使用的材料之一。但是铌酸锂在传统抛光工艺中的使用并不是很理想，因为其韧性高、硬度低等一些特点，会使得加工的过程中具有产生生划痕、加工速度不高等一些缺点。本论文针对铌酸锂晶体的上述加工特点，通过大量实验，对二氧化硅介质抛光液的配制进行了深入的研究；把古典抛光和高速环形抛光相结合，以传统的沥青盘代替化学机械抛光的抛光布，用自制的二氧化硅介质抛光液对铌酸锂晶体进行化学机