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本实用新型公开了一种晶舟盒翻转机构及水平甩干机，该晶舟盒翻转机构包括装配框架、晶舟盒、驱动杆和翻转驱动装置，装配框架沿径向固定安装于转盘的端面上，晶舟盒的外端通过铰接轴能转动地安装于装配框架的端部，驱动杆与所述铰接轴之间设置连杆组件，翻转驱动装置带动驱动杆自低位状态上升至高位状态，驱动杆通过连杆组件带动晶舟盒翻转一定角度，驱动杆处于低位状态时，晶舟盒的开口朝内，驱动杆处于高位状态时，晶舟盒的开口朝上。上述晶舟盒翻转机构及水平甩干机不仅结构紧凑、设计巧妙；而且实现了对晶舟盒的自动翻转，便于取放晶舟
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214152859 U
(45)授权公告日 2021.09.07
(21)申请号 202120355055.X
(22)申请日 2021.02.09
(73)专利权人 泉芯半导体科技（无锡）有限公司
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