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一种晶圆玻璃粉擦粉装置的压紧装置，属于晶圆加工辅助设备技术领域。其特征在于：包括加压装置以及压板（9），加压装置装置与压板（9）相连，并推动其沿靠近或远离晶圆的方向运动，压板（9）上设置有用于压紧晶圆的压紧部。本晶圆玻璃粉擦粉装置的压紧装置的加压装置推动压板运动，并使压板压紧晶圆，加压装置能够保证压板对晶圆的压力恒定，压紧部通过牛皮纸对晶圆进行擦拭，进而保证擦拭后晶圆上的玻璃粉的厚度均匀，且晶圆擦拭速度快，玻璃粉的厚度均一，且控制方便，保证加工出的芯片的合格率高，降低了芯片的生产成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214152873 U
(45)授权公告日 2021.09.07
(21)申请号 202120469205.X
(22)申请日 2021.03.04
(73)专利权人 山东才聚电子科技有限公司
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