原创力文档- 19
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- 2023-07-12 发布于四川
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本发明属于电子核心产业技术领域，涉及敏感元件及传感器制造，具体涉及一种裂纹传感器及制备方法与其在收缩力测量中的应用。包括柔性膜，所述柔性膜的一面设置若干线性凸起，所述柔性膜的另一面设置线性结构，所述线性结构由下至上依次包括银层、铬层以及CNT‑PDMS层，所述CNT‑PDMS层的材质为掺杂碳纳米管的聚二甲基硅氧烷，所述银层设置裂纹结构，所述裂纹结构是能够随银层的形变产生变化的裂纹。本发明提供的裂纹传感器有效地抵抗了裂纹扩展，显着提高了裂纹传感器的稳定性，同时还具有较高的灵敏度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115219079 A
(43)申请公布日 2022.10.21
(21)申请号 202210833004.2
(22)申请日 2022.07.15
(71)申请人 齐鲁工业大学
地址 250353
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