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本发明提供了一种掺钪氮化铝和钨的选择性蚀刻液，按质量百分数计，包括碱性物质：10~25%、氧化剂1.5~2.5%；钨蚀刻抑制剂0.2~0.4%；表面活性剂0.03~0.1%；余量为去离子水。本发明所述的钪氮化铝碱蚀刻液能够在高效地蚀刻掺钪氮化铝同时保证金属钨的低蚀刻速率，最大程度地避免对金属钨的蚀刻。蚀刻过程中，氧化剂可极大程度提升钪氮化铝的蚀刻速率，减少蚀刻残留，延长蚀刻液寿命。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114989825 A
(43)申请公布日 2022.09.02
(21)申请号 202210757316.X
(22)申请日 2022.06.30
(71)申请人 湖北兴福电子材料有限公司
地址 4
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