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本发明公开一种接近度传感器，所述接近度传感器将来自垂直腔面发射激光器(VCSEL)的极窄发散光束用于照明源。可达成在0.5度到10度的范围内的窄发散光束以在小占据面积组件中提供高接近度感测准确度。一种减小光束发散度的方法是使用外部第三镜增加VCSEL谐振腔的长度。第二实施方式通过修改DBR镜和增益区域来延长VCSEL腔的长度。光学微透镜可与所述VCSEL耦合以准直输出光束并且减小所述光束发散度。这些光学微透镜可为单独光学元件或通过修改基板输出表面轮廓或添加透明层以与所述VCEL集成在一起。这些光
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110325878 A
(43)申请公布日
2019.10.11
(21)申请号 20178
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