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一种电致浸润无残余层纳米压印装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-07-12 发布于四川
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一种电致浸润无残余层纳米压印装置及方法.pdf

    本发明公开了一种电致浸润无残余层纳米压印装置，包括上部透明电极、下部结构化电极、纳米压印模板、纳米压印胶和纳米压印衬底，所述上部透明电极与下部结构化电极之间设有外部电压，所述下部结构化电极的顶部设有纳米压印衬底，所述纳米压印衬底上沉积有纳米压印胶，所述纳米压印胶与上部透明电极之间设有纳米压印模板，所述上部透明电极的上方设有紫外固化装置。本发明通过外加电压，可根据纳米压印模板的结构要求而分区调节电压，从而使纳米压印胶受电场力、毛细力以及本征张力的多种作用，使得纳米压印胶流体在模板图案中完全铺展，以

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116413998 A (43)申请公布日 2023.07.11 (21)申请号 202310408940.3 (22)申请日 2023.04.18 (71)申请人 璞璘科技（杭州）有限公司 地址

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